シリコン単結晶製造時におけるマランゴニ効果
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- バルク結晶成長技術の基礎
- 「バルク結晶成長の新しいアプローチ」小特集にあたって( バルク結晶成長の新しいアプローチ)
- シリコン融液対流の不安定性(インダストリアルマテリアルズ)
- シリコン融液中における酸素移動現象の磁場印加効果 : 液体物性
- 半導体融液の熱物性定数 : バルク成長シンポジウムII
- 融液対流と結晶中の不純物濃度分分布との相関 : 融液成長(シリコン関連) I
- 融液成長における対流の不安定性(「融液成長における不安定性」)
- シリコン液柱内マランゴニ対流の温度振動と温度分布
- TR-IA-4号小型ロケットによるシリコンメルトマランゴニ対流の温度振動測定
- シリコン融液の表面張力に及ぼす酸素と温度の影響
- シリコン融液の表面張力に及ぼす酸素分圧の影響
- シリコン融体の表面張力の測定 : バルク成長シンポジウムI
- シリコン単結晶製造時における融液の流れ
- 27pA3 CZ単結晶育成中におけるSi融液対流速度の垂直磁場による変化(バルク結晶成長シンポジウムII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
- シリコン単結晶製造時におけるマランゴニ効果