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Department Of Physics School Of Science Tokai University | 論文
- Advanced Surface Modification Resist Process for ArF Lithography
- New Technologies of KrF Excimer Laser Lithography System in 0.25 Micron Complex Circuit Patterns (Special Issue on Quarter Micron Si Device and Process Technologies)
- Quarter Micron KrF Excimer Laser Lithography (Special Issue on Sub-Half Micron Si Device and Process Technologies)
- Plasma Plugging in Gas Divertor
- シートプラズマを用いたイオンサイクロトロン加熱実験
- シンクロトロン放射光照射による非晶質シリコンの局所構造緩和
- RF放電励起スラブ炭酸ガスレーザー媒質中の温度計測
- 半導体レーザー外部共振器による微量可燃性ガス検出に関する研究
- レーザー吸収分光用円筒型マルチパスセルの光学特性
- 円筒型マルチパスセルを用いた簡易型NO_2計測装置の研究
- レーザーを利用したダイオキシン検知
- シｰトプラズマの高周波電場による異常加熱
- 新しいガスダイバｰタによるガス逆流の防止の効果
- プラズマ中のイオン音波測定システムの開発
- Protonic Conduction in the Single Crystal of Sc-Doped SrZrO_3
- Ti-O Hybridization Effect of Lightly La-doped SrTiO_3 Observed by Resonant-Photoemission Spectroscopy
- Electronic Structure in the Bulk State of Protonic Conductor CaZrO_3 by Resonant Soft-X-Ray Emission Spectroscopy : Electrical Properties of Condensed Matter
- Removal of Water Vapor in a Mist Singlet Oxygen Generator for Chemical Oxygen Iodine Laser
- Development of a Mist Singlet Oxygen Generator
- 霧化型励起酸素発生器の基礎研究III