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独立行政法人 産業技術総合研究所 | 論文
- All-Wet ProcessによるULSI配線
- CO_2液滴の水または海水に対する溶解挙動の観察
- MEMS商業化技術専門委員会活動報告(5.3 専門委員会・分科会の活動,5.精密工学の輪,創立75周年記念)
- MEMSとHI応用への期待
- Qスイッチレーザー加工によるカーボン型を用いた低蛍光ガラスのマイクロ成形
- 研削加工によるカーボン型を用いたガラス材料の大面積マイクロ成形
- インプリント法によるガラス製マイクロ化学チップの開発
- モバイルブロードバンドMEMS研究会のご紹介(次世代のエレクトロニクス実装に向けた研究会活動の現状と今後)
- 圧電性材料の成膜技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の成膜とデバイス形成に関する研究
- PLZT積層膜構造体の光起電力特性
- カーボン金型を用いたガラス材料の熱インプリント (特集 脚光をあびるナノインプリント技術)
- マイクロ光学レンズ成形用金型の集束イオンビーム加工
- メカニカルリソグラフィの現状と将来(メカニカルリソグラフィ)
- 圧電性材料の厚膜形成技術とMEMSへの応用 : PZT系材料の積層構造体作製とデバイス形成に関する研究
- パワーMEMS
- 3220 ピエゾ素子による発電(第 4 報) : 機械及び電気特性
- チャイナシフトの時代のキーテクノロジーを探る(マイクロ成形分科会)(専門委員会・分科会研究レビュー)
- F20-(4) ナノ・マイクロメカトロニクスの商業化-成形と実装化技術
- 微細加工技術を用いた圧電体成膜・デバイス形成技術に関する研究
- 産業技術総合研究所 機械システム研究部門 集積機械研究グループ