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熊本テクノロジー | 論文
- スティックスリップ補償と連続軌跡追従制御に基づく超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発:第4報
- SPIDER駆動精密ステージの位置決め制御における実験的摩擦補償法
- 摩擦モデルに基づく非共振型超音波アクチュエータ駆動精密ステージの一制御法
- 非共振型超音波モータを用いた精密ステージの連続軌跡追従制御系の構成法
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発(第8報)
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第7報)非共振型超音波モータの微動特性
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発 : (第6報)積層型圧電アクチュエータの動特性
- 高速超精密ステージ用非共振型超音波モータの開発 : 予圧機構とステージ駆動性能(第5報)
- 非共振型超音波モータを用いたナノマニピュレータの性能評価
- 非共振型超音波モータ駆動超精密ステージの開発:第3報
- 主要記事 半導体製造技術の超精密技術を応用して開発したナノマニピュレータ