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法政大 イオンビーム工研 | 論文

• 電子ビーム支援蒸着によるCeO_2(110)/Si(100)のエピタキシャル成長
• チャネリングイオン照射によるエピタキシャルCeO2膜の結晶性改善
• 高エネルギ-イオン照射によるCeO2薄膜の結晶性改善
• Indium-tin oxide透明導電膜の異常電気抵抗変化
• 高配向Al及びCu膜の熱安定性と内部応力
• 高配向Al及びCu膜の熱安定性と内部応力
• Al-希土類元素合金系電極配線材料の研究開発

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