チャネリングイオン照射によるエピタキシャルCeO2膜の結晶性改善

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概要

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• 法政大学イオンビ-ム工学研究所の論文

著者

• 佐藤 政孝

  法政大学イオンビーム工学研究所

• 山本 康博

  法政大 イオンビーム工研

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