高配向Al及びCu膜の熱安定性と内部応力

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 法政大学イオンビーム工学研究所の論文

著者

• 高山 新司

  法政大 イオンビーム工研

• 日室 徳二

  法政大学大学院工学研究科

関連論文

• Indium-tin oxide透明導電膜の異常電気抵抗変化
• 高配向Al及びCu膜の熱安定性と内部応力
• 高配向Al及びCu膜の熱安定性と内部応力
• Al-希土類元素合金系電極配線材料の研究開発
• 高配向Cu膜の熱安定性と内部応力

スポンサーリンク