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東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 | 論文
- D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- レーザによる小径熱可塑性レジンボンド砥石の砥粒保持力補修に関する研究
- アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
- 軸対称非球面の超精密研削 : オンマシン計測システムを非球面型の研削加工に適用した場合
- 極微粒ダイヤモンドホイールによる高速度鋼の円筒鏡面研削
- マイクロ非球面の超精密研削に関する研究 (第3報) : 斜軸研削における非球面(凹面)の微小化の検討
- 圧縮力を受ける段付きはりの動安定性に関する研究
- 《第8回》 マイクロセンサ
- 超微細加工への挑戦 : シリコン・マイクロマシニング(創立100周年記念 これからのつくる技術)
- 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー -センサー・マイクロマシンの研究開発-
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- MEMSマルチプローブ有機薄膜導電性記録
- 真空プロセスによるMEMS用低抵抗銅配線膜の検討
- アクティブ制御を使った広帯域インテリジェント発電システムの可能性
- 両持ち梁を用いたエレクトレットマイクロ発電の研究
- アジ化銀微小ペレットの着火・爆轟特性
- MEMSスイッチによる表面弾性波制御機構の開発
- 2108 圧電薄膜によるマイクロ発電デバイス(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- 3301 ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)
- 3303 PZT圧電薄膜マイクロカンチレバーを用いたマイクロ発電(J26-1 マイクロメカトロニクス(1),J26 マイクロメカトロニクス)