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東京エレクトロン | 論文
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- 微少な氷板状結晶の形態変化 : 氷
- 27a-J-5 微小板状氷結晶の形態変化
- 電気の効果による氷結晶の核形成機構
- 微小板状氷結晶の成長及び融解の形態
- Production of Low-Electron-Temperature Electron Cyclotron Resonance Plasma Using Nitrogen Gas in the Mirror Magnetic Field
- Simulation of Plasma Production and Chemical Reaction in an Oxide Deposition Apparatus Using Electron Cyclotron Resonance Plasma
- Near-Field Distribution of Radial Line Slot Antenna for Surface-Wave-Coupled Plasma Generation
- I123 SiO_2-水/IPA界面近傍における構造と物質輸送に関する分子動力学的研究(一般講演(4))
- C-39 半導体製造装置の発塵特性に関する研究