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日立ハイテクノロジーズ | 論文
- Cu(Ti)合金微細配線における極薄バリア層の自己組織形成
- 複数SEM像組み合わせによる高感度な低段差欠陥検出
- 二軸傾斜試料加熱装置の改良とその金属材料高温観察への応用
- 金属材料析出過程の高温その場観察とEELS分析
- 測長SEMにおけるビームチルト角キャリブレーション技術の開発
- トップダウンSEM像を用いたレジストパタン膜厚管理
- 血清と試薬の混合状態の可視化による非接触攪拌デバイスの評価(流体工学,流体機械)
- 微小空間における液体の非接触攪拌技術 : 自由表面の波動現象を用いた非接触攪拌デバイスの開発(流体工学,流体機械)
- 411 非接触攪拌デバイスによる血清と試薬の混合
- コンパクト水道水質計の開発(技術賞受賞記念解説)
- 13pXF-4 カーボン包埋 Pt ナノ粒子創製(微粒子・クラスタ, 領域 9)
- X線回折による有機導体蒸着膜の面内配向評価 : エピキタシャル成長V
- 108 界面き裂の応力拡大係数に及ぼすき裂面接触の影響(OS 材料利用・改質に関する実験・数値解析(その2))
- 超音波による微量液体の非接触攪拌--液面に作用する音響放射圧を用いた流動化機構の応用 (解説 強力超音波の応用)
- 三次元微細構造解析の新展開 (3D可視化技法の新展開)
- FIBマイクロサンプリング法による柱状試料の作製とその三次元元素分布像観察
- FIBを用いたソフトマテリアルの試料作製 (試料作製のノウハウ)
- 最近の装置開発と将来像
- 電子ビーム描画装置の開発 : 日立ハイテクノロジーズ/日立製作所(精密工学の最前線)
- 203 部分加熱によるシリコンマスクの温度解析(GS-1 メカトロニクス)