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日本酸素株式会社つくば研究所 | 論文
- 有機金属化学気相成長装置内の表面吸着水の高速除去
- レーザー分光装置によるHClガス中の水分の計測
- 半導体レーザによる塩化水素中微量水分の測定
- MOCVD 原料としての高純度[Sr(dpm)_2]の合成
- MOCVD 法による LiNbO_3 薄膜の合成
- MOCVD 原料としての高純度[Ti(dpm)_2(i-C_3H_7O)_2)]の合成
- MOCVD法による光IC薄膜作製用原料としての高純度Nb(dpm)_2Cl_3の合成
- MOCVD法によるTa_2O_5薄膜作製用原料としての高純度[Ta(dpm)_4]Clの合成
- MOCVD 原料としての高純度 Pb(dpm)_2の特性
- 半導体レーザ分光によるステンレス上吸着水とトリクロロシランの不均一系反応の研究
- Y_2O_3およびYAlO_x膜の熱処理依存性評価(極薄ゲート絶縁膜・シリコン界面の評価技術・解析技術)
- 酸化物薄膜のCVD技術 : CVD原料としての金属錯体とその供給技術
- ステンレス鋼管溶接時の粒子発生と内面平滑度の粒子排出効果