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日本真空技術株式会社技術開発部 | 論文
- 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
- 鏡面 Si ウエハー対応真空中ダストモニターの開発
- 冷凍機分離型ベーカブル・クライオポンプの水素排気特性の測定
- 小型冷凍機付きベ-カブル型クライオポンプによる極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
- MgO保護膜評価装置の開発
- MgO保護膜評価装置の開発
- アルミニウム合金を用いたドライ真空ポンプと反応性ガスの排気
- 高温超伝導体を利用した極高真空対応磁気浮上搬送装置の真空特性評価
- 酸化物超電導体を用いた磁気浮上型搬送装置
- 超清浄スパッタマシンの開発
- スパッタCu膜のリフロー埋め込み特性に与える下地膜の影響
- サマリー・アブストラクト
- イオン窒化
- 小型冷凍機付きベーカブル型クライオポンプによる極高真空の発生