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日本真空技術(株)超材料研究所 | 論文
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法による極薄アルミナ膜電気特性
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のGMR特性 (多層膜・人工格子・グラニューラー)
- ICP支援スパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のMR特性
- 誘導結合高周波プラズマ支援多元マグネトロンスパッタ法を用いたTiO_2/SiO_2多層膜の作製
- EF-09 RECORDING AND REPRODUCTING PROPERTIES OF MAGNETIC TAPE BY HIGH INCIDENCE ANGLE NUCLEATION METHOD(1982年インタ-マグ報告)
- AF-04 "GT TARGET", A NEW HIGH RATE SPUTTERING TARGET OF MAGNETIC MATERIALS(1982年インタ-マグ報告)
- AF-02 MAGNETIC PROPERTIES OF THIN FILMS PREPARED BY CONTINUOUS VAPOR DEPOSITION(1982年インタ-マグ報告)
- A.H. Beck編: Handbook of Vacuum Physics, Pergamon Press Ltd., London, 1964〜1965, 14×22cm.
- スパッタ・イオンポンプの試作 : 真空
- 超高真空 : 核融合
- アブストラクト
- 偏光解析モニタのプロセス装置への組み込みに対する対策
- 技術開発と社会的環境についての経験 : -真空プラズマの工業的利用, 大学の研究室での経験などを通じて- (若い人へ)
- 総論 (1) 真空産業
- 60kW電子ピーム炉によるタンタルの溶解試験
- 高温真空炉における熱絶縁について
- アブストラクト
- 日本の真空工業
- 真空技術の開発について
- 大型真空装置