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大阪府立産業技術総合研究所 材料技術部 | 論文
- 超音波マイクロアレイセンサ用加算機能付きBBDの開発
- PZT圧電体膜を用いた異常音検知マイクロセンサの作製とその評価
- BBD遅延加算回路を用いた超音波計測システムの開発
- PZT膜を用いた特定音波検知マイクロセンサの作製とその特性
- 解説 マイクロアレイ超音波センサ
- 電気的ビーム走査を目的としたマイクロアレイ型超音波センサの開発
- PZT薄膜を用いたアレイ型超音波マイクロセンサ
- マイクロアレイ超音波センサ用BBD半導体集積回路の開発
- 大阪府先導的研究 : 「スーパーアイ・イメージセンサ研究開発」について
- IC一体化超音波センサの開発
- 異方性エッチング液に対する薄膜の耐性
- 片持ち梁型AEセンサの作製とその特性
- 4p-N-4 GaSeのElectro-reflactance VI
- IBS法によるTa_2O_5膜のシリコン上への成膜
- スパッタ法による電界放射エミッタ用tipの形状制御の可能性
- 大阪府立産業技術総合研究所 マイクロデバイス開発支援センター
- 強誘電体薄膜を用いた誘電ボロメータ型赤外線センサ
- 誘電ボロメータ型赤外線センサアレイ駆動方式の考察
- 誘電ボロメータ型赤外線センサの開発
- BaTi_Sn_xO_3薄膜誘電ボロメータ型赤外線センサの作製と基礎特性