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大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター | 論文
- 超平坦化加工を施した4H-SiC(0001)表面--高品質グラフェン作製への応用 (第29回表面科学学術講演会特集号(3))
- 光散乱法を用いたナノパーティクル測定機の開発 : 標準ナノ粒子を用いた検出精度と洗浄効果の評価
- ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のマイクロラフネス測定法
- 光散乱法を用いたSiウエハ表面のウエット洗浄によるナノパーティクル評価
- ナノパーティクル測定機によるシリコンウエハ面のナノ欠陥計測
- SMTによる水素終端化Si(001)表面の昇温過程の観察
- STMによる湿式洗浄Si(110)表面の昇温過程の観察
- 超平坦化加工を施した4H-SiC(0001)表面 : 高品質グラフェン作製への応用
- 光散乱法を用いたシリコンウエハ面の洗浄によるナノ構造評価
- レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測
- 光散乱法によるSiウエハ表面のナノ微細欠陥とナノ構造の計測と評価
- MOSトランジスタ : ゲート絶縁膜形成技術の進展と今後の展開
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第5報) : Siウエハ表面に対する洗浄前後の微粒子測定による表面評価
- レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -Siウェーハ表面の観察-
- ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウエハ表面の微粒子および欠陥計測による表面評価
- レーザー光散乱によるSiウェーハ表面上の微粒子計測 -微小粒子の測定-
- ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第7報) -ウルトラクリーンルームでのSiウェーハ面の測定と微粒子測定表面評価-
- カーボンナノチューブを探針にしたSTM/SREMによるSi表面の観察
- 微粒子測定機による粗さ測定法とSiウエハ表面評価