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大阪大学大学院工学研究科附属超精密科学研究センター | 論文
- 光散乱法によるSiウエハ表面上のナノ形状欠陥の計測
- 微粒子定機によるナノメータオーダのSiウエハ表面形状の測定
- 微粒子測定機を用いたSiウェハ表面におけるナノメータオーダのスクラッチ形状の測定
- 光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法 (第6報) -Siウェーハ面の測定と微粒子付着分布による表面評価-
- 金属ナノ結晶の形状制御と機能(ナノ結晶の成長と新機能)
- 貴金属ナノ粒子の精密形状制御合成とその光機能 (特集 光・電子機能材料の新展開)
- プラズマ援用研磨による4H-SiC(0001)表面の高品位仕上げ加工
- Flattening of Si (001) Surface by EEM (Elastic Emission Machining):—Atomic Structure Identification of Processed Surface—
- Improvement of Thickness Uniformity of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Plasma CVM:—Correction of Thickness Distribution of Quartz Crystal Wafer by Numerically Controlled Machining Utilizing Pipe Electrode—