スポンサーリンク
兵庫県大 | 論文
- 高アスペクト比シリコンナノニードルの作製
- エッチングによる表面微細加工
- エキシマレーザアニーリングにより形成された多結晶シリコンの成長様式 : グレーン形状と水素の関係についての検討(低温または高温多結晶Siとアクティブマトリックス型ディスプレイ用薄膜トランジスタ論文特集)
- ELA法によるポリシリコンの結晶成長について : 核形成と水素の関係
- WCの放出CKX線スペクトルの結晶性および観測角度依存性
- 機械的合金化したTi-hBN粉末中のBの状態分析
- メカニカルアロイング処理によるTiC生成反応のEPMA状態分析
- メカニカルアロイング法によるNb_3Al複合材の作製
- DMD露光機における多重露光を利用した静電容量型加速度センサの試作
- PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究
- PZT誘電ボロメータ型温度センサ
- 機械振動・共振を利用したセンサ技術
- MEMSガスジャイロ用ホットワイヤと流路形状に関する研究
- 半導体レーザを光源とするリングレーザジャイロの試作と周回レーザ発振
- PZT圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究
- 振動型3軸MEMSジャイロの設計と試作
- BS-14-2 ユビキタス・センサネットワークのための人体活動モニタリングシステムとその小型化(BS-14.ユビキタス・センサーネットワーク技術〜モノによるユビキタス環境を目指して〜,シンポジウムセッション)
- 425 振動型加速度センサの薄膜梁評価(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- DMD露光機を用いた感光樹脂製圧力センサの試作と評価
- MEMSセンサを用いた宅配便輸送環境モニタシステム