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住友金属鉱山 (株) 中央研究所 | 論文

• 放射光を用いたXPSおよびXASによるCrN表面酸化過程の検討
• プラズマCVD法による TiN 膜形成過程における活性プラズマ種
• 気相膜の特性と応力
• 「分かり易い耐火物の反応」 固体-固体
• TiN被覆材料の残留応力に及ぼす基板表面粗さの影響
• アークイオンプレーティング膜の特性と工業的応用
• アークイオンプレーティング法によって形成した窒化物膜の高度と密着力

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