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ニチメン電子工研(株) | 論文

• 酸化クロム膜のハロゲンプラズマに対する耐腐食テスト
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(2) : エッチング特性
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(1) : プラズマ特性
• 多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
• ダイヤモンド様炭素膜の高速堆積
• 高い一様性を持つ誘導励起プラズマの生成と応用
• コンパクト高密度ラジカル源
• 核融合-プラズマ・壁相互作用-プロセシング(私の研究の歩み)

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