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ステラケミファ株式会社 | 論文

• 金属表面フッ化不動態皮膜の形成と特性
• 表面吸着水分の計測
• 極微量表面吸着水分の精密計測技術
• フッ素ガスを用いた金属表面処理
• 薬液と超純水使用量を削減する新しいウェハ洗浄プロセス
• F2ガスを用いた金属表面フッ化不動態処理
• ふっ素回収技術について

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