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(株)日立製作所機械研究所 | 論文
- 直接シミュレーションモンテカルロ法による半導体成膜形状シミュレーション
- 分子線サンプリング法を用いたCVD反応機構解析装置の開発
- 直接シミュレーションモンテカルロ法による希薄流シミュレータの開発 : 第1報,上流と下流の圧力条件を与えた場合の二次元流れ解析
- 半導体プロセスにおける流れや熱の問題
- 温水式床暖房による室内垂直方向温度分布の実測と解析
- 超高真空及び極高真空材料
- ベークしたステンレス鋼真空容器のビルドアップ法による放出ガス速度測定
- 熱時効による2相ステンレス鋳鋼のフェライトの組成変化
- ステンレス鋼溶接部の熱時効による2相分離
- 2相ステンレス鋳鋼の相分離による引張特性の変化
- アトムプルーブによるナノメーター領域の三次元分析
- 真空容器材料としてのステンレス鋼とアルミニウム合金
- アルミニウムの腐食に及ぼす水分吸着量の影響
- 表面における重水素原子分布の原子レベル計測
- 金表面における水分吸着に及ぼす塩粒子付着の影響
- 2相ステンレス鋼における熱時効脆化の加速試験
- 極高真空材料の水素拡散挙動とガス放出速度の関係
- 材料表面への水分子の吸着と脱離
- 表面層における3次元化学組成の原子レベル計測
- 218 3 次元アトムプローブによるナノ組織化材料の界面評価