藤井 輝夫 | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター
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概要
東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- MEMSナノトライボロジーの電子顕微鏡その場観察 (特集 MEMSとトライボロジー)
- F-1 MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観測(マイクロナノ理工学)
- 金対シリコン対向探針を用いたシリコン表面への金ナノクラスターのTEM内散布方法