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芳賀 恒之 | NTT マイクロシステムインテグレーション研究所
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NTT マイクロシステムインテグレーション研究所 | 論文
集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
光 MEMS と今後の動向
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