福田 浩 | NTT マイクロシステムインテグレーション研究所

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概要

• 同名の論文著者
• NTT マイクロシステムインテグレーション研究所の論文著者

NTT マイクロシステムインテグレーション研究所 | 論文

• 集積型マイクロ変位センサを用いたレーザドップラ速度計測
• 圧電素子変位の拡大機構と集積型変位センサを組み込んだ3次元ステージの作製
• フッ素化ポリイミドとSPPを用いた高アスペクト比加工
• SPP(Silicone-based Positive Photoresist)マスクによるポリイミドの三次元立体加工
• 光 MEMS と今後の動向

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