黒光 祥郎 | 三菱マテリアル(株) 中央研究所
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概要
三菱マテリアル(株) 中央研究所 | 論文
- 連続チャージ法によるシリコン単結晶の育成 : バルク成長シンポジウムII
- 27aA1 二重ルツボを用いたCMCZ法によるSi単結晶成長(バルク結晶成長シンポジウムI)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
- 電場中の自然対流の発生に関する研究
- 27a-N-3 CZシリコン中の酸素析出反応を利用した自己格子間原子の検出
- 無欠陥結晶成長技術 : シリコン(21世紀を担うバルク単結晶)