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上村 大輔 | 慶大理工:名大院理
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28a-R-12 分数量子ホール状態におけるポイントコンタクト
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堆積時に窒素をドープしたa-Siを用いたポリバッファLOCOS技術工程が単純で将来の微細化に対応できる分離技術
クォーターミクロンCMOSに適用した銅配線プロセス評価及びその電気特性への影響
堆積時に窒素をドープしたa-Siを用いたポリバッファLOCOS技術(2)
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