山内 毅 | (株)デンソー
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概要
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著作論文
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- KOH 水溶液を用いた電圧印加によるn-Si(110)の等方性エッチング
- Al/TiN界面反応に及ぼすTiN膜質の影響
- Al-Si-Cu/TiN界面固相反応に及ぼすTiN薄膜の内部応力と内部微細構造の影響 (特集論文"観る")