Al-Si-Cu/TiN界面固相反応に及ぼすTiN薄膜の内部応力と内部微細構造の影響 (特集論文"観る")

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• デンソ-の論文

著者

• 山内 毅

  (株)デンソー

関連論文

• 透明ELディスプレイとALD薄膜形成技術
• KOH 水溶液を用いた電圧印加によるn-Si(110)の等方性エッチング
• Al/TiN界面反応に及ぼすTiN膜質の影響
• Al-Si-Cu/TiN界面固相反応に及ぼすTiN薄膜の内部応力と内部微細構造の影響 (特集論文"観る")

スポンサーリンク