水谷 隆 | 名大・工

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概要

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著作論文

• BCl_3, PCl_3原料を用いたBPの気相成長 : 気相成長
• BBr_3-PCl_3-H_2系でのBP気相成長の熱力学計算 : 基礎的考察
• Si基板方位によるBPエピタキシャル成長層の変化

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