Momma Naohiro | Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12

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概要

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• Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12の論文著者

関連著者

• Ohue Michio

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Fukuda Takuya

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

• Momma Naohiro

  Hitachi Research Laboratory Hitachi Ltd.

• SUZUKI Kazuo

  Hitachi Works, Hitachi, Ltd.

• Sonobe Tadashi

  Hitachi Ltd. Hitachi Works.

• Fukuda Takuya

  Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12

• Momma Naohiro

  Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12

著作論文

• Effects of Excited Plasma Species on Silicon Oxide Films Formed by Microwave Plasma CVD

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