HAN Dae-Hee | Tokyo Institute of Technology

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概要

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• Tokyo Institute of Technologyの論文著者

関連著者

• OHMI Shun-ichiro

  Tokyo Institute of Technology

• HAN Dae-Hee

  Tokyo Institute of Technology

著作論文

• Flattening Process of Si Surface below 1000°C Utilizing Ar/4.9%H2 Annealing and Its Effect on Ultrathin HfON Gate Insulator Formation

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