品部 慎治 | (株)安川電機基礎研究所
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概要
(株)安川電機基礎研究所 | 論文
- Ti合金またはSUS304ステンレス鋼シャフトとNi-Feスパッタ膜で構成した磁歪式トルクセンサ出力の温度ドリフト補償法
- Ni-Feスパッタ膜とステンレス鋼シャフトで構成した磁歪式張力センサの出力要因
- 熱膨張係数の大きいSUS304ステンレス鋼シャフトと圧縮性内部応力を有するNi-Feスパッタ膜で構成した磁歪式トルクセンサの出力値に及ぼす要因
- Ti合金シャフトとNi-Feスパッタ膜で構成した磁歪式トルクセンサの出力値に及ぼす要因
- Ni-Fe合金スパッタ膜で構成された機器組込み型磁歪式トルクセンサによる力制御