Shibata Masahiro | Crestec Corporation, Hachioji, Tokyo 192-0045, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Crestec Corporation, Hachioji, Tokyo 192-0045, Japanの論文著者

関連著者

• OHYI Hideyuki

  CRESTEC

• Kuba Yukio

  Crestec Corporation, Hachioji, Tokyo 192-0045, Japan

• Okino Teruaki

  Crestec Corporation, Hachioji, Tokyo 192-0045, Japan

• Shibata Masahiro

  Crestec Corporation, Hachioji, Tokyo 192-0045, Japan

著作論文

• 130 kV High-Resolution Electron Beam Lithography System for Sub-10-nm Nanofabrication

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