広江 昭彦 | 東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門
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概要
東北大学未来科学技術共同研究センター未来情報産業創製研究部門 | 論文
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 2段シャワープレート型マイクロ波プラズマエッチャーを用いた多層膜の連続エッチング
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- マグネトロンスパッタによるSiO_2基板上への微結晶SiGeの堆積(結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
- 原子状酸素を用いた酸化処理による強誘電体STN薄膜の特性改善(プロセスクリーン化と新プロセス技術)