YASUI Masaru | Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd.

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概要

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• 同名の論文著者
• Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd.の論文著者

関連著者

• Katoh Kazuhisa

  Research & Development Lab. Stanley Electric Co. Ltd.

• Watanabe Hideo

  Sendai Radio Technical College

• Yasui Masaru

  Research & Development Lab., Stanley Electric Co. LTD.

• Watanabe Hideo

  Sendai National College Of Technology

• YASUI Masaru

  Research & Development Lab., Stanley Electric Co. Ltd.

著作論文

• Effects of rf Power and Substrate Temperature on Properties of a-SiN_x:H Films Prepared by Glow-Discharge of SiH_4-N_2-H_2

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