唐岩 正人 | 三井石油化学工業 (株) 総合研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 三井石油化学工業 (株) 総合研究所の論文著者

関連著者

• 金原 粲

  東京大学工学部

• 水野 正明

  東京大学工学部物理工学科

• 馬場 茂

  東京大学工学部

• 唐岩 正人

  三井石油化学工業 (株) 総合研究所

著作論文

• スパタリング法によるTiN薄膜の形成 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)

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