Washidzu Gen | Electrical Engineering, Hosei University

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概要

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Electrical Engineering, Hosei University | 論文

• 水素イオン注入によるSi及びSiC薄膜のデラミネーション
• Reflow of PSG Layers by Halogen Lamp Short Duration Heating Technique
• Low Resistance Al/Si Ohmic Contacts on Boron Implanted Shallow p^+ Si Layers Formed by Halogen Lamp Annealing
• Contact Resistance of Al/Si Ohmic Electrodes Formed by Rapid Lamp Sintering.
• Damage Formed by Si^+ Implantation in GaAs

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