Sato Mitsuru | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa-machi, Koza-gun, Kanagawa 253-0114, Japan

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概要

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関連著者

• Sato Mitsuru

  Tokyo Ohka Kogyo Co. Ltd.

• NAMATSU Hideo

  NTT Basic Research Laboratories

• Sato Mitsuru

  Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., 1590 Tabata, Samukawa-machi, Koza-gun, Kanagawa 253-0114, Japan

• Namatsu Hideo

  NTT Basic Research Laboratories, NTT Co., 3-1 Morinosato, Wakamiya, Atsugi-shi, Kanagawa 243-0198, Japan

著作論文

• Supercritical Improvement of Resist Patterns by Introducing Functional Molecules

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