井上 眞一 | 三井金属鉱業(株) 総合研究所
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概要
関連著者
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井上 眞一
三井金属鉱業(株)総合研究所
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井上 眞一
三井金属鉱業(株) 総合研究所
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山岸 喜代志
三井金属鉱業(株)総合研究所
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三井金属鉱業(株)総合研究所
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三井金属鉱業 (株) 電子材料研究所
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後藤 芳彦
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後藤 芳彦
東京理科大学 基礎工学部
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半澤 規子
東京理科大学 基礎工学部
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青木 善平
三井金属鉱業(株)総合研究所
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三井金属鉱業(株) 総合研究所
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和田 充弘
三井金属鉱業株式会社総合研究所
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川西 利明
三井金属鉱業株式会社 総合研究所
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前田 知志
三井金属鉱業株式会社総合研究所
著作論文
- Ar-O_2混合ガス雰囲気下でSiO_2/Al_2O_3基板上に作製されたPt/Ti薄膜の組織と抵抗温度係数の改善
- 種々の雰囲気下で熱処理した Pt/Ti/SiO_2/Al_2O_3 多層膜の組織と抵抗温度係数
- 薄膜流量センサーの開発
- 加熱処理により単結晶レベルの高抵抗温度係数を得た Pt/Sapphire 薄膜