半澤 規子 | 東京理科大学 基礎工学部
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概要
関連著者
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青木 善平
三井金属鉱業株式会社総合研究所
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後藤 芳彦
東理大基礎工
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井上 眞一
三井金属鉱業(株)総合研究所
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山岸 喜代志
三井金属鉱業(株)総合研究所
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後藤 芳彦
東京理科大学基礎工学部
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後藤 芳彦
東京理科大学 基礎工学部
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半澤 規子
東京理科大学 基礎工学部
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友成 健二
三井金属鉱業(株)総合研究所
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青木 善平
三井金属鉱業(株)総合研究所
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青木 善平
三井金属鉱業(株) 総合研究所
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友成 健二
三井金属鉱業(株) 総合研究所
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山岸 喜代志
三井金属鉱業 (株) 電子材料研究所
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井上 眞一
三井金属鉱業(株) 総合研究所
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山岸 喜代志
三井金属鉱
著作論文
- Ar-O_2混合ガス雰囲気下でSiO_2/Al_2O_3基板上に作製されたPt/Ti薄膜の組織と抵抗温度係数の改善
- 種々の雰囲気下で熱処理した Pt/Ti/SiO_2/Al_2O_3 多層膜の組織と抵抗温度係数