井上 眞一 | 三井金属鉱業(株)総合研究所

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関連著者

• 井上 眞一

  三井金属鉱業(株)総合研究所

• 友成 健二

  三井金属鉱業(株)総合研究所

• 井上 眞一

  三井金属鉱業(株) 総合研究所

• 山岸 喜代志

  三井金属鉱業(株)総合研究所

• 友成 健二

  三井金属鉱業(株) 総合研究所

• 山岸 喜代志

  三井金属鉱業 (株) 電子材料研究所

• 山岸 喜代志

  三井金属鉱

• 青木 善平

  三井金属鉱業株式会社総合研究所

• 後藤 芳彦

  東理大基礎工

• 後藤 芳彦

  東京理科大学基礎工学部

• 後藤 芳彦

  東京理科大学 基礎工学部

• 半澤 規子

  東京理科大学 基礎工学部

• 青木 善平

  三井金属鉱業(株)総合研究所

• 青木 善平

  三井金属鉱業(株) 総合研究所

• 和田 充弘

  三井金属鉱業株式会社総合研究所

• 川西 利明

  三井金属鉱業株式会社 総合研究所

• 前田 知志

  三井金属鉱業株式会社総合研究所

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著作論文

• Ar-O_2混合ガス雰囲気下でSiO_2/Al_2O_3基板上に作製されたPt/Ti薄膜の組織と抵抗温度係数の改善
• 種々の雰囲気下で熱処理した Pt/Ti/SiO_2/Al_2O_3 多層膜の組織と抵抗温度係数
• 薄膜流量センサーの開発
• 熱式薄膜流量センサーの開発 (〔日本電子材料技術協会〕第38回秋期講演大会--優秀賞受賞論文と受賞者の感想)
• 熱式薄膜流量センサーの開発
• 加熱処理により単結晶レベルの高抵抗温度係数を得た Pt/Sapphire 薄膜

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