水野 亨彦 | 信越半導体(株)

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概要

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信越半導体(株) | 論文

• ボロンドープ低抵抗率シリコンウェーハの酸素析出新評価法
• 放射光トポグラフィーによるシリコン結晶中の微小欠陥の観察 - 高エネルギーX線・高次反射の利用 -
• CZシリコン結晶中酸素析出挙動の計算機シミュレーション : バルク成長シンポジウム
• キャビテーション気泡崩壊圧と壊食量に関する一考察
• シリコンウェーハに施されたゲッタリング手法の能力評価

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