Amanokura Jin | Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japanの論文著者

関連著者

• Amanokura Jin

  Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japan

• Ono Hiroshi

  Semiconductor Materials Division, Hitachi Chemical Co., Ltd., Hitachi, Ibaraki 317-8555, Japan

• Hombo Kyoko

  Materials Research Laboratory, Hitachi Ltd., Hitachi, Ibaraki 319-1292, Japan

著作論文

• Development of High-Speed Copper Chemical Mechanical Polishing Slurry for Through Silicon Via Application Based on Friction Analysis Using Atomic Force Microscope

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