熊渕 善太 | 広島工業大学工学部電子工学科
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概要
広島工業大学工学部電子工学科 | 論文
- 変形磁界型高周波マグネトロンスパッタ法によるNi薄膜の堆積速度
- C-6-1 水素プラズマ曝露によるITO薄膜表面のXPS評価
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法におけるAr^+及びCu^+イオンのエネルギー分布
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法におけるAr^+及びCu^+イオンのエネルギー分布
- アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCoN_x薄膜の電気的特性および結晶構造