Masai Ichiro | Masai Initiative Research Unit, RIKEN (The Institute of Physical and Chemical Research)
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概要
- 同名の論文著者
- Masai Initiative Research Unit, RIKEN (The Institute of Physical and Chemical Research)の論文著者
論文 | ランダム
- RF-DC結合形低圧マグネトロンスパッタ法の開発 : 放電特性とNi薄膜の堆積速度のDC制御効果
- C-6-1 アンバランスマグネトロンスパッタ法によるCo薄膜の堆積速度
- C-6-10 RF-DC結合形マグネトロンスパッタ法を用いたWNx薄膜のDC電圧による組成制御効果
- C-6-1 水素プラズマ曝露によるITO薄膜表面のXPS評価
- 高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法によるSnNx薄膜の作製