戸辺 裕 | (株)カラサワファイン

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概要

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関連著者

• 土肥 俊郎

  埼玉大学教育学部

• 土肥 俊郎

  埼玉大学 教育学部

• 唐澤 幸彦

  (株)カラサワファイン

• 戸辺 裕

  (株)カラサワファイン

• 山口 壽司

  (株)松佳

• 渡辺 健一

  (株)松佳

• 斉藤 謙治

  (株)カラサワファイン

• 斎藤 謙治

  (株)カラサワファイン

• 藤牧 由亘

  (株)松佳

著作論文

• 水素イオン活量に支配されない分散剤レス高純度CMPスラリーの製造技術
• CMPスラリーのインラインにおける均一希釈技術と装置
• 微細気泡を含有しない分散剤レス高純度CMPスラリーの製造技術
• プラナリゼーション・ポリシング/CMPの基礎的検討 : 硬質パッドへのダイヤモンド砥粒の適応を可能とする均一微粒子化並びに固定に関する技術

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