BONO Fuminori | Tohoku University, Dept. of Nanomechanics

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概要

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• Tohoku University, Dept. of Nanomechanicsの論文著者

Tohoku University, Dept. of Nanomechanics | 論文

• Micro-Heater Array for Tunable Fiber-Bragg Grating
• Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror
• Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror

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