村上 健介 | 日本セラミック株式会社 八東研究所
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概要
日本セラミック株式会社 八東研究所 | 論文
- エピタキシャルγ-Al_2O_3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を利用した焦電型赤外線センサ
- エピタキシャルγAl_2O_3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を利用した焦電型赤外線センサ
- PLZT光シャッタを用いた赤外線吸収方式CO_2ガスセンサの製作および特性
- 中赤外線領域用の狭帯域透過フィルタの試作
- ダイヤフラム上のPZT薄片を感受部とした焦電形赤外線センサ