鄭 昌鎬 | Santec（株）

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概要

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• 同名の論文著者
• Santec（株）の論文著者

関連著者

• 鄭 昌鎬

  santec株式会社

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 年吉 洋

  東京大学生産技術研究所

• 諫本 圭史

  santec株式会社

• 高橋 琢二

  東京大学生産技術研究所

• 角嶋 邦之

  東京大学生産技術研究所

• 横川 隆司

  東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター

• 泰井 祐輔

  東京大学生産技術研究所

• 小野 志亜之

  東京大学生産技術研究所

• 藤田 博之

  東京大学生産技術研究所

• 鄭 昌鎬

  Santec（株）

• 横川 隆司

  東京大学生産技術研究所

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著作論文

• フッ酸，オゾン，HMDSを用いたMEMSデバイスの全気相処理によるスティクション力の低減

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