木村 博一 | 日立中研

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• 近藤 彌太郎

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著作論文

• 走査型電子顕微鏡による半導体の観察 : 電子ビームとその応用シンポジウム
• イオンエッチング装置の開発 : 電子ビームとその応用シンポジウム
• 電子線蒸着法の改良 : 逆散乱電子の除去と新しい蒸着装置 : 電子ビームシンポジウム
• 電子衝撃蒸着装置の試作とその応用 : 薄膜・超高真空管合同シンポジウム
• 薄膜抵抗体の電子ビームによる加工とその特性 : 電子ビーム加工シンポジウム

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